化學(xué)蝕刻加工是以零件的原始表面為基準(zhǔn)，并不像大多數(shù)的機(jī)械加工方法那樣，是以金屬切削機(jī)床的基準(zhǔn)面來作為加工基準(zhǔn)，其加工偏差只受機(jī)床固有的加工精度的影響。因此，化學(xué)蝕刻加工所能達(dá)到的加工公差主要受一下幾個(gè)方面因素的影響。

1. 零件材料的影響：同一種材料所產(chǎn)生不同的蝕刻速度及效果，使其在同一個(gè)腐蝕液中也會(huì)具有不同的腐蝕公差。

2. 零件尺寸大小的影響：零件尺寸越大，在腐蝕槽中所處的位置不同，因而各部分出現(xiàn)腐蝕差異的可能性就更大，主要表面是蝕刻速度的差異。

3. 零件懸掛方式的影響：一個(gè)大型的板材零件如果是垂直放于腐蝕槽中，經(jīng)腐蝕后會(huì)出現(xiàn)下薄上后的錐形，所以在計(jì)算公差時(shí)也應(yīng)把這種由腐蝕加工本身造成的公差計(jì)入總公差。

4. 腐蝕劑的影響：必須要嚴(yán)格控制腐蝕液化學(xué)成分的濃度范圍，保持腐蝕劑在腐蝕槽中各部分的溫度分布均勻，保持腐蝕液在腐蝕槽中各部分濃度均勻。

5. 腐蝕加工深度的影響：腐蝕加工深度越深，零件在腐蝕液中浸泡時(shí)間越長，而時(shí)間越長，蝕刻液各種化學(xué)成分的變化也越大，進(jìn)而使蝕刻速度及腐蝕效果的變化增大。

6. 樣板精度及圖形轉(zhuǎn)移精度的影響：一、刻劃圖形所使用的樣板，這種樣板的精度受樣板加工成本的影響很大。二、用于照相及絲印圖形轉(zhuǎn)移所用的照相底片，照相底片可以很高的精度，特別是對(duì)照相圖形轉(zhuǎn)移可以做到和照相底片幾乎完全一樣的圖形轉(zhuǎn)移精度。

7. 腐蝕加工過程的影響。要保證腐蝕水平的精度，必須通過實(shí)驗(yàn)確定側(cè)蝕率，并以此確定圖形樣板的精確尺寸范圍。由于化學(xué)蝕刻在水平方向上變化的影響，所以用于加工尺寸非常精確的凹槽或凸肋都是不可取的。由于水平方向公差要求在±0.25mm-±0.5mm范圍內(nèi)的加工得到了廣泛應(yīng)用，特別是飛機(jī)工業(yè)、艦船等特殊行業(yè)大量使用。

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